臭氧发生器一般由空气中的氧气或液氧、氧气瓶中的纯氧为原料气体。 以液氧、瓶装氧气或小型制氧机为气源的臭氧发生器，称为氧气源的臭氧发生器。 以空气为气源的臭氧发生器称